TDK压电叠堆执行器产品组合添新锐
近日,TDK株式会社宣布推出两款新的铜内电极压电执行器——COM30S5和COM45S5,其采用符合RoHS要求的锆钛酸铅 (PZT) 材料制成。
据介绍,新款元件采用TDK基于铜电极的HAS技术,以无外壳封装的被动元件供货,实现了良好的动态范围、高力量/体积比和纳米级精度。比之其他技术,采用HAS技术的压电执行器性能更佳,湿度稳定性更好、使用寿命更长。
图源:TDK
两款新元件覆盖电压范围为-10至+180 V,额定位移在+160 V处达到,允许的表面温度范围为-40至+160°C,高度分别为30 mm和45 mm,横截面尺寸为5.2 mm x 5.2 mm,并且在160 V和730 N的预紧力条件下可实现55 ?m 和 83 ?m (COM45S5) 的位移。
TDK透露,公司计划于2023年再推出另外三款执行器,以满足更广泛的应用要求。目前,这些执行器仅作为少量原型样品供应,尚未量产,具体包括高度为10 mm、位移量为16 ?m的COM10S5;高度为27 mm、位移量为 47 ?m的 COM27S3;以及高度为30 mm、横截面为7 mm x 7 mm、位移量为55 ?m、推力高达2600 N的COM30S7。
此外,TDK也强调,公司压电执行器应用范围广,适合包括纳米级定位技术、工艺工程中液体和气体的高精度阀门控制,以及半导体制造等高端解决方案在内的诸多应用。
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